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當前位置:首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC150PE不銹鋼勻膠機150PE

不銹鋼勻膠機150PE

簡要描述:不銹鋼勻膠機HC150P:E可編程勻膠機,采用分體式結構設計,高分子HDPE耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設計,美觀大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。
  不銹鋼勻膠機HC150PE:該勻膠機結構緊湊、簡單易用,可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內操作。HDPE高分子材料旋涂內腔,美觀耐腐蝕,經久耐用。

  • 產品型號:HC150PE
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-03-14
  • 訪  問  量:612

詳細介紹



產品介紹:



    稱:不銹鋼勻膠機HC150PE

    號:HC150PE

    用:在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

 

 

產品概述:



不銹鋼勻膠機HC150PE 可編程勻膠機,采用分體式結構設計,高分子HDPE耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設計,美觀大方。適合涂膠處理? 5~150mm圓晶尺寸基片。
  該勻膠機結構緊湊、簡單易用,可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內操作。HDPE高分子材料旋涂內腔,美觀耐腐蝕,經久耐用。

 

性能參數:



  • 適用晶元尺寸范圍:? 5~150mm

  • 旋涂速度:100~12000rpm;

  • 轉速分辨率:1rpm

  • 旋涂加速度:100-30000rpm/s;

  • 最大旋涂時間:3000s;

  • 旋涂時間精度:0.1s

  • 內腔直徑212mm,內腔采用凹面防濺設計;

  • 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

  • 電源輸入:AC200-230

產品特點:



  • 設計緊湊,可輕松放置在手套箱內使用;

  • HDPE高分子材料旋涂內腔,耐腐蝕;

  • 采用分體式結構,易清潔和移動;

  • 4.3英寸彩色觸屏控制,易學易用;

  • 精確設置實驗參數,運行狀態實時顯示;

  • CNC一體加工成型的HDPE內腔,內腔壁采用凹面設計,有效防濺;

  •  采用高級PLC程序控制,可編程,實現快速旋涂和多步編程旋涂;

  • 具有電機進膠保護功能;管路易疏通設計;

  • 具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數自動保存功能。

  •  可設置用戶密碼保護功能;

  •  帶真空度安全互鎖檢測功能;

  • 帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統;

 

 


                             HDPE高分子耐腐蝕內腔

              不同尺寸的載物盤

 

不銹鋼勻膠機HC150PE產品外型尺寸:
    310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)

 


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