當前位置:首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC220SE精密勻膠機
簡要描述:HC220SE精密勻膠機采用高級PLC模塊,工業(yè)級伺服電機;8英寸彩色觸屏控制,人機界面
產品分類
Product Category詳細介紹
產品特色
? 采用高級PLC模塊,工業(yè)級伺服電機;8英寸彩色觸屏控制,人機界面;
? HDPE高分子內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;內腔壁采用凹面設計,有效防濺;
? 可編程寫和存儲100組程序,每組100步;
? 帶真空度安全互鎖檢測功能;帶蓋子安全互鎖檢測功能;帶排廢接口;
? 具有電機進膠保護功能;管路易疏通設計;具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數(shù)自動保存功能。
? 正、反轉旋涂方向可自由切換;旋涂參數(shù)可設置循環(huán)執(zhí)行;速度-時間曲線實時顯示;
? 可設置用戶密碼保護功能;配置可調基座,方便調節(jié)水平;
性能參數(shù)
? 適用晶元尺寸范圍:?5~220mm;
? 旋涂速度:0~10000rpm;轉速分辨率:1rpm;旋涂加速度:0-50000rpm/s(空載);
? 最大旋涂時間:3000s;旋涂時間精度:0.1s;
? 內腔壁采用凹面防濺設計;
? 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序100步;
? 均勻性:<±3%(需去邊3mm區(qū)域測量);
? 電源輸入:AC200-230V;
產品咨詢
官方微信
公司官網