名稱:德國超聲波掃描顯微鏡
產品介紹:
名稱:德國超聲波掃描顯微鏡
型號:V-400E
產地:德國
應用:晶圓面處分層缺陷;錫球、晶圓、或填膠中的開裂;晶圓的傾斜;各種可能之孔洞(晶圓接合面、錫球、填膠…等)
產品應用:
聲掃顯微鏡應用領域:
- 半導體電子行業(yè):半導體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
- 材料行業(yè):復合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等;
- 生物醫(yī)學:活體細胞動態(tài)研究、骨骼、血管的研究等
在失效分析中的應用:
- 晶圓面處分層缺陷
- 錫球、晶圓、或填膠中的開裂
- 晶圓的傾斜
- 各種可能之孔洞(晶圓接合面、錫球、填膠…等)
聲掃顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢:
- 非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內部結構
- 可分層掃描、多層掃描
- 實施、直觀的圖像及分析
- 缺陷的測量及缺陷面積和數量統(tǒng)計
- 可顯示材料內部的三維圖像
- 對人體是沒有傷害的
- 可檢測各種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等)
主要參數:
- -該型號顯微鏡系統(tǒng)是實驗室、研發(fā)和工業(yè)生產線主流機型。
- - 掃描速度可達:2000mm/s
- - 與其它品牌機型相比掃描效率高30%
- - 大掃描范圍:400mm×400mm
- - 小掃描范圍:200μm×200μm
- - 射頻大帶寬:500MHz
- - 新型FCT防誤判探頭
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